德國Xiton公司在Ixion-193-SLM標(biāo)準(zhǔn)款的基礎(chǔ)上，推出兩款新型Ixion-193-SLM深紫外窄線寬全固態(tài)激光器。其中更高功率款的平均功率由10mW提升至50mW,更窄線寬款的激光線寬由標(biāo)準(zhǔn)款的線寬<80MHz（10fm),相干長度>2m; 提升至線寬<60MHz（10fm),相干長度>2.5m;

Ixion-193-SLM激光器共同的特點：

- 使用超級簡便：用戶只需在圖形化的軟件界面上即可完成操作

- 可適應(yīng)7天24小時工業(yè)化應(yīng)用

- 窄線寬，長相干長度

- 標(biāo)準(zhǔn)輸出193.368nm，下單前可提前定制190-195nm范圍間任意波長值。

- 波長在10pm(80GHz)范圍內(nèi)可調(diào)諧

- 可增配內(nèi)置波長計監(jiān)測波長調(diào)諧的絕對值

產(chǎn)品規(guī)格

應(yīng)用舉例：

光譜儀校準(zhǔn)：

Ixion-193-SLM標(biāo)準(zhǔn)款就已經(jīng)很適合做193nm深紫外頻段高分辨率光譜儀校準(zhǔn)，下圖為校準(zhǔn)德國LTB高分辨率中階梯光柵光譜儀的實測圖

深紫外光刻：

Ixion-193-SLM-50的輸出功率可達50mW, 可用于科研級別小尺度深紫外光刻;其光譜線寬<100MHz, 可有效降低深紫外光刻系統(tǒng)的色差導(dǎo)致的位置偏差，特別適合于浸沒型高分辨率光刻，以及多次曝光套刻。

準(zhǔn)分子激光器的種子注入：

用于產(chǎn)業(yè)級別高精細度半導(dǎo)體光刻制程時， Ixion-193-SLM可用于大功率準(zhǔn)分子激光器的種子注入源，將自身的超窄線寬和超高功率穩(wěn)定性傳遞給大功率準(zhǔn)分子激光器，提升半導(dǎo)體光刻制程分辨率與良品率。

深紫外干涉與計量：

Ixion-193-SLM以其1.5-2.5m的長相干長度，很適合搭建193nm干涉系統(tǒng)和全息系統(tǒng)；193nm深紫外激光架構(gòu)比266nm激光架構(gòu)用于無圖型半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測儀能做到更細微的缺陷監(jiān)測極限；用于膜厚檢測也可做到更精細的膜厚檢測極限；可用于掩膜對準(zhǔn)步進光學(xué)系統(tǒng)的校準(zhǔn)?？傊琁xion-193-SLM可做為超精細半導(dǎo)體制程光刻系統(tǒng)或器件的研究與優(yōu)化應(yīng)用的光源。